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申请/专利权人：沈阳工程学院
摘要：本发明属于半导体技术领域，提出一种自供电紫外探测器及其制备方法，包括：衬底；紫外光吸收层，布置于衬底上，该紫外光吸收层被赋予为异质纳米结晶结构；其中，紫外光吸收层能够阵列生长于衬底表明，且沿竖直方向分布有若干层；第一电极，分布在衬底表面分布有紫外光吸收层的部分上，且将紫外光吸收层包覆；第二电极，分布在衬底表面未分布有紫外光吸收层的部分上，且将衬底包覆，紫外光吸收层沉积在衬底上，且沿衬底至紫外光吸收层顶端形成有台阶，该台阶被赋予以刻蚀制备而成，衬底为Si、ScAlMgO4或者蓝宝石的一种，且衬底的厚度为360‑430μm。本发明不仅能够提高紫外探测器响应效率，还可以有效减少器件尺寸提高应用范围。
主权项：1.一种自供电紫外探测器，其特征在于，包括：衬底；紫外光吸收层，布置于所述衬底上，该紫外光吸收层被赋予为异质纳米结晶结构；其中，所述紫外光吸收层能够阵列生长于所述衬底表明，且沿竖直方向分布有若干层；第一电极，分布在所述衬底表面分布有所述紫外光吸收层的部分上，且将所述紫外光吸收层包覆；第二电极，分布在所述衬底表面未分布有所述紫外光吸收层的部分上，且将所述衬底包覆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳工程学院 一种自供电紫外探测器及其制备方法
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