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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种抛光头组件及化学机械抛光设备。该抛光头组件用于化学机械抛光设备，包括吊架、多个抛光头模块以及回转驱动模块，吊架用于与设备主体连接，能够绕旋转轴线转动，吊架包括底板；多个抛光头模块绕吊架的旋转轴线间隔设置，在抛光作业时多个抛光头模块中的至少一个位于抛光工位以及至少一个位于上下料工位，抛光头模块包括旋转驱动件、抛光轴及抛光头，旋转驱动件连接于底板的下表面，旋转驱动件用于驱动抛光轴转动，抛光头连接于抛光轴的下端；回转驱动模块与吊架连接，用于驱动吊架绕旋转轴线转动，以使多个抛光头模块在抛光工位及上下料工位之间切换。该抛光头组件使得吊架具有较为紧凑的结构，提高了抛光头组件的作业稳定性。
主权项：1.一种抛光头组件，用于化学机械抛光设备，所述化学机械抛光设备包括设备主体，其特征在于，所述抛光头组件包括：吊架，所述吊架用于与所述设备主体连接，所述吊架能够绕旋转轴线转动，所述吊架包括底板；多个抛光头模块，多个所述抛光头模块环绕所述吊架的旋转轴线间隔设置，且在抛光作业时，多个所述抛光头模块中的至少一个位于抛光工位以及至少一个位于上下料工位，所述抛光头模块包括旋转驱动件、抛光轴以及抛光头，所述旋转驱动件连接于所述底板的下表面，所述旋转驱动件的驱动端与所述抛光轴连接，所述旋转驱动件用于驱动所述抛光轴转动，所述抛光头连接于所述抛光轴的下端；以及，回转驱动模块，所述回转驱动模块与所述吊架连接，用于驱动所述吊架绕所述旋转轴线转动，以使多个所述抛光头模块在所述抛光工位及所述上下料工位之间切换。
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权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 一种抛光头组件及化学机械抛光设备
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