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申请/专利权人:安徽旭合新能源科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种扩散石英小舟,包括挡板,其一侧对称开设有居中布置的机械抓手;所述挡板上开设有关于两个所述机械抓手中心对称布置,且彻底贯彻。该实用新型提供的扩散石英小舟,该设计是小石英舟两侧的挡板,通过使挡板具有匀流效果,可有效改善边缘硅片的气流与温度场的均匀性,提高方阻的均匀性,进而改善电池片的效率集中度与良率。
主权项:1.一种扩散石英小舟,其特征在于,包括挡板1,其一侧对称开设有居中布置的机械抓手2;所述挡板1上开设有关于两个所述机械抓手2中心对称布置,且彻底贯彻的开口3。
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百度查询: 安徽旭合新能源科技有限公司 一种扩散石英小舟
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