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申请/专利权人:浙江美晶新材料股份有限公司
摘要:本实用新型涉及坩埚检测技术领域,公开一种石英坩埚R角间隙测量装置。该石英坩埚R角间隙测量装置包括测量本体和深度尺,测量本体上设置有测量槽,测量槽能与标准石英坩埚的底壁相贴合,测量本体上还设置有滑道,滑道的轨迹方向与测量槽的槽壁相平行;深度尺滑动配合于滑道,且深度尺的测量端能抵接于待测石英坩埚的底部。所述石英坩埚R角间隙测量装置的使用方法较为简单,且由于深度尺的精度较高,可以保证检测结果的精确度。
主权项:1.一种石英坩埚R角间隙测量装置,其特征在于,包括:测量本体100,其上设置有测量槽101,所述测量槽101能与标准石英坩埚的底壁相贴合,所述测量本体100上还设置有滑道102,所述滑道102的轨迹方向与所述测量槽101的槽壁相平行;深度尺200,滑动配合于所述滑道102,且所述深度尺200的测量端201能抵接于待测石英坩埚10的底部。
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