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申请/专利权人：深圳平湖实验室
摘要：本申请提供了一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置，涉及金刚石材料生长技术领域，旨在能够高质量、快速率、大尺寸的生长金刚石材料。所述工作台包括样品托和承载装置。样品托用于承载衬底。样品托和衬底设置于用于提供微波等离子球体的反应腔室中。承载装置与样品托连接，用于沿第一方向和或第二方向移动样品托，以使衬底相对反应腔室中激发出的等离子球体沿第一方向和或第二方向移动，第一方向和第二方向交叉。通过承载装置第一方向和或第二方向移动，从而带动衬底的移动，使得电离后的等离子体能够在衬底的各个位置处沉积，衬底的尺寸不再局限于等离子球体的大小，能够根据更大的衬底生长出更大尺寸的金刚石材料。
主权项：1.一种用于金刚石生长的工作台，其特征在于，包括：样品托，所述样品托用于承载衬底，所述样品托和所述衬底设置于用于提供微波等离子球体金刚石生长环境的反应腔室中；承载装置，连接所述样品托，用于沿第一方向和或第二方向移动所述样品托，以使所述衬底相对所述反应腔室中激发出的等离子球体沿第一方向和或第二方向移动；所述第一方向和所述第二方向交叉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳平湖实验室 一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置
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