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波导型受光元件以及光接收装置 

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申请/专利权人:三菱电机株式会社

摘要:波导型受光元件10具备:半绝缘性的半导体基板11;光吸收层12,其形成于半导体基板10的一个主面上,具有与半导体基板10的一个主面垂直的一对接合面、以及供光入射的入射端面12A,入射端面以一对接合面的对置的端边作为一对对边,入射端面的层厚比层宽长;n型半导体层13,其在半导体基板11的一个主面上与光吸收层12的一对接合面中的一个接合面接合;以及p型半导体层14,其在半导体基板11的一个主面上与光吸收层12的一对接合面中的另一个接合面接合。

主权项:1.一种波导型受光元件,其中,所述波导型受光元件具备:半绝缘性的半导体基板;光吸收层,其形成于所述半导体基板的一个主面上,具有与所述半导体基板的一个主面垂直的一对接合面、以及供光入射的入射端面,所述入射端面以所述一对接合面的对置的端边作为一对对边,所述入射端面的层厚比层宽长;n型半导体层,其在所述半导体基板的一个主面上与所述光吸收层的所述一对接合面中的一个接合面接合;以及p型半导体层,其在所述半导体基板的一个主面上与所述光吸收层的所述一对接合面中的另一个接合面接合。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三菱电机株式会社 波导型受光元件以及光接收装置

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