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用于选择性沉积的自组装单层 

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申请/专利权人:应用材料公司

摘要:公开了用于沉积超薄膜的方法。本公开内容的一些实施方式利用超薄膜作为阻挡层、衬垫层或成核层以减小互连电阻。一些实施方式有利地提供了厚度小于或等于约的连续膜。一些实施方式有利地提供了粗糙度减小的膜。

主权项:1.一种膜沉积方法,包含:在基板表面上沉积膜的第一部分,所述第一部分是非连续的;将所述基板表面和所述第一部分暴露于钝化剂以选择性地钝化所述第一部分;以及相对于所述膜的所述第一部分在所述基板表面上选择性地沉积所述膜的第二部分。

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权利要求:

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