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一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构 

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申请/专利权人:台州蓝天企业服务有限公司

摘要:本发明公开了一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,包括固定底座,所述固定底座的下部设有下横向支撑板,下横向支撑板的底面中部固定有提升伺服电机,提升伺服电机的输出轴穿过下横向支撑板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套,竖直螺套上螺接有竖直提升螺杆,竖直提升螺杆的顶端固定有提升板,提升板的侧壁固定有导向套体,导向套体插套在固定底座的顶板上成型有的导向通孔中。本发明可以将储料底板根据需要进行高低调节,使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆,需要抓取时可以将储料底板提升,方便抓取,效果好。

主权项:1.一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,包括固定底座10,其特征在于:所述固定底座10的下部设有下横向支撑板11,下横向支撑板11的底面中部固定有提升伺服电机12,提升伺服电机12的输出轴穿过下横向支撑板11的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套13,竖直螺套13上螺接有竖直提升螺杆14,竖直提升螺杆14的顶端固定有提升板15,提升板15的侧壁固定有导向套体16,导向套体16插套在固定底座10的顶板上成型有的导向通孔17中;所述提升板15的顶面固定有储料底板20,储料底板20的顶面的前部和后部均固定有侧板体21,两个侧板体21的相对壁面上均成型有多个侧边槽22,晶圆100的前部和后部插套在对应的侧边槽22中;所述固定底座10的顶板的顶面上固定有安装固定板18,安装固定板18的中部具有中心通槽181,导向套体16的上部插套在中心通槽181中。

全文数据:

权利要求:

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