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申请/专利权人：南通罡丰科技有限公司

摘要：本发明公开了一种碳化硅晶棒用多线切割机，包括机台，所述机台顶面垂直固接机架，所述机架一侧中心位置水平转动连接两个切割槽辊。本发明采用钨线作为切割线，经过实际切割后测量，切割出的产品厚度偏差小、平坦度小、弯曲度小、翘曲度也更小，提高了切割质量，本发明中送料结构采用双重送料方式，前段的提升速度快，提高了送料的效率，在切割时，压力传感器会一直检测晶棒本体受到的压力，根据该压力数值调节调速电机转速，避免晶棒本体送料速度不适导致切割线断裂的现象，本发明供液组件中设置了流量调节阀，达到根据晶棒本体切割深度来试试调节切削液流量的效果，降低了切削液流出对切割翘曲度的影响。

主权项：1.一种碳化硅晶棒用多线切割机，包括机台1，其特征在于：所述机台1顶面垂直固接机架2，所述机架2一侧中心位置水平转动连接两个切割槽辊21，所述机台1侧壁位于两个切割槽辊21之间中心位置正上方转动连接主动槽辊22，所述主动槽辊22及两个切割槽辊21上缠绕切割线3，所述切割线3为钨线，所述切割线3直径为0.07-0.1mm，所述机台1侧壁底面与两个切割槽辊21之间位置之间开设安装口23，所述安装口23内设置有送料结构4；所述送料结构4包括升降壳41，所述升降壳41插接在安装口23内，所述升降壳41远离机架2一侧开设主滑槽42，所述主滑槽42内垂直滑动连接滑移壳43，所述滑移壳43远离升降壳41一侧开设子滑槽44，所述子滑槽44内垂直滑动连接滑块45，所述滑块45侧壁水平固接升降台46，所述升降台46顶面固接鸠尾座47，所述鸠尾座47顶面粘接晶棒本体48；所述主滑槽42底面中心位置固定嵌接主电机412，所述主电机412顶端固接长丝杆413，所述滑移壳43内垂直固接第一螺纹套筒414，所述长丝杆413螺纹连接第一螺纹套筒414，所述滑移壳43底面固定嵌接调速电机415及减速机416，所述减速机416转轴端固接减速机416输入轴，所述减速机416输出轴固接短丝杆417，所述滑块45内垂直固接第二螺纹套筒418，所述短丝杆417螺纹连接第二螺纹套筒418，所述升降台46与鸠尾座47之间固接压力传感器49，所述压力传感器49控制调速电机415，所述调速电机415为变频电机、步进电机或伺服电机中的一种，所述升降台46顶面两侧固接两个摄像头411，所述机台1顶面一侧固接控制面板11及显示屏12，所述显示屏12与摄像头411信号连接；所述机架2侧壁位于主动槽辊22两侧位置分别设置有两个张紧组件6，所述机架2位于两个张紧组件6下方分别固接收线盒28及放线盒210，所述收线盒28内水平转动连接收线槽辊29，所述放线盒210内水平转动连接放线槽辊211，所述机架2侧壁位于两个张紧组件6与接收线盒28及放线盒210之间位置分别转动连接两个导向槽辊27；所述张紧组件6包括水平开设在机架2上的通槽61，所述通槽61内垂直滑动连接滑板62，所述滑板62侧壁开设横槽口64，所述横槽口64内水平滑动连接调节块65，所述调节块65侧壁水平固接轴杆66，所述轴杆66上转动套接张紧槽辊67；所述横槽口64内水平固接滑杆68，所述调节块65内水平开设滑孔69，所述滑杆68滑动套接在滑孔69内，所述滑杆68位于调节块65两侧分别套接两个弹簧610，所述机架2远离张紧槽辊67一侧位于通槽61下方位置通过支架614固接干预电缸63，所述干预电缸63顶面固接横板613，所述横板613固接在滑板62上；所述滑板62两侧分别固接两个导向板612，所述通槽61两侧垂直开设两个导向滑槽611，两个所述导向板612垂直滑动连接两个导向滑槽611内，所述切割线3缠绕在放线槽辊211、导向槽辊27、张紧槽辊67、切割槽辊21、主动槽辊22及收线槽辊29上，所述放线槽辊211、导向槽辊27、张紧槽辊67、切割槽辊21、主动槽辊22及收线槽辊29上的槽距均为0.45mm-0.60mm，所述机架2远离主动槽辊22一侧固接高速驱动电机213，所述高速驱动电机213转轴端固接主动槽辊22。

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