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一种三自由度磁悬浮移动平台及其控制方法 

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申请/专利权人:泉州装备制造研究所

摘要:本发明公开了一种三自由度磁悬浮移动平台和控制方法,包括悬浮平台、驱动单元、磁性定子、位置检测磁体、三轴传感器和底座;悬浮平台包括工作平台和置于工作平台的悬浮磁体;所述悬浮磁体由多个圆柱永磁体叠加组成,悬浮磁体通过在工作平台上安装的铁片基底吸附在工作平台上;驱动单元和磁性定子可拆分的上下叠放,组成悬浮控制组件;悬浮控制组件固定在底座上,与悬浮磁体数量和位置相对;驱动单元中包括控制空间三自由度运动的驱动线圈,驱动线圈不含磁芯或永磁体;位置检测磁体和三轴传感器位置对应,分别固定在工作平台和底座上。使用本发明解决了磁悬浮平台的水平方向和竖直方向上运动解耦问题,各个部分都能够独立拆装更换,易于维护。

主权项:1.一种三自由度磁悬浮移动平台,其特征在于,包括:悬浮平台、驱动单元、磁性定子、位置检测磁体(4)、三轴传感器(8)和底座(9);悬浮平台包括工作平台(1)和置于工作平台(1)的悬浮磁体(3);所述悬浮磁体(3)由多个圆柱永磁体叠加组成,自上而下尺寸不断减小;悬浮磁体(3)通过在工作平台(1)上安装的铁片基底(2)吸附在工作平台(1)上;驱动单元和磁性定子可拆分的上下叠放,组成悬浮控制组件;悬浮控制组件固定在底座(9)上,与悬浮磁体(3)数量和位置相对;驱动单元中包括控制空间三自由度运动的驱动线圈(5),驱动线圈(5)中的线圈内不含磁芯或永磁体;所述驱动单元包括驱动线圈阵列和线圈底座平台(6);驱动线圈阵列控制悬浮平台竖直z方向自由度运动和水平x、y方向自由度运动,并保证磁悬浮平台的稳定悬浮;驱动线圈阵列固定在线圈底座平台(6)上,线圈底座平台(6)放置在磁性定子上表面,能够拆卸分离;位置检测磁体(4)和三轴传感器(8)位置对应,分别固定在所述工作平台(1)和所述底座(9)上;所述位置检测磁体(4)为条形磁体。

全文数据:

权利要求:

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