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申请/专利权人：河南昌达智能装备有限公司;河南省科学院碳基复合材料研究院
摘要：本实用新型属于CVD单晶金刚石制备技术领域，尤其涉及一种钻石生成专机。一种钻石生成专机，包括机架，反应腔单元包括设置在机架上的底座、在底座上设置的沉积台及密封盖，微波发生单元包括用于对反应器加热的微波发生器；冷却单元包括固定穿设在底座内并延伸至反应腔内的进水管、在进水管上端设置的支撑盘、在进水管内穿设的回水管，真空发生单元包括真空泵，顶升单元包括在回水管内穿设的调整杆及驱动调整杆上下运动的驱动机构，调整杆的上端部延伸至回水管上方并固定嵌设在沉积台内，供气单元包括气瓶及连接在密封盖上以用于对反应腔内通入反应气体的通气机构。本实用新型具有结构紧凑、单次制备钻石晶片数量多、可调整沉积台高度的优点。
主权项：1.一种钻石生成专机，包括机架，其特征在于：还包括：反应腔单元：包括设置在机架上的底座、在所述底座上设置的沉积台及在所述底座上盖设的密封盖；微波发生单元：包括微波发生器及连通反应腔的矩形波导管；冷却单元：包括固定穿设在所述底座内并延伸至反应腔内的进水管、在所述进水管上端设置的支撑盘、在所述进水管内固定穿设的回水管；真空发生单元：包括用于对反应腔抽真空的真空泵；顶升单元：包括在所述回水管内穿设的调整杆及驱动所述调整杆上下运动的驱动机构，所述调整杆的上端部延伸至回水管上方并固定嵌设在沉积台内；供气单元：包括气瓶及连接在所述密封盖上以用于对反应腔内通入反应气体的通气机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南昌达智能装备有限公司 河南省科学院碳基复合材料研究院 一种钻石生成专机
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