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申请/专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
摘要：一种真空磁控镀膜旋转阴极的外置端头，包括主轴，主轴内部设置有进水轴，进水轴的端面高出主轴的端面，进水轴端面的下方设置有上导电块，主轴端面的上方设置有下导电块，进水轴端面的上方设置有进水导电法兰，进水导电法兰上设置有进水口，主轴与进水轴之间设置有出水通道，主轴外侧设置有绝缘外壳，绝缘外壳的侧面设置有出水口。本实用新型提供的端头的主体部分位于腔体的外侧，只将轴通到腔体内部与靶筒链接，可以有效节省腔体内部的空间，对于设备的小型化和紧凑设计非常有利，尤其是在空间受限的应用场合中。
主权项：1.一种真空磁控镀膜旋转阴极的外置端头，其特征在于：包括主轴（1），所述主轴（1）内部设置有进水轴（2），所述进水轴（2）的端面高出主轴（1）的端面，所述进水轴（2）端面的下方设置有上导电块（3），所述主轴（1）端面的上方设置有下导电块（4），所述进水轴（2）端面的上方设置有进水导电法兰（5），所述进水导电法兰（5）上设置有进水口（6），所述主轴（1）与进水轴（2）之间设置有出水通道（7），所述主轴（1）外侧设置有绝缘外壳（8），所述绝缘外壳（8）的侧面设置有出水口（9）。
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