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申请/专利权人：上海先进半导体制造有限公司
摘要：本公开实施例提供了一种穹顶温控系统、空气扩散器及金属刻蚀机台。该穹顶温控系统包括：箱体、进风装置、加热装置和空气扩散器。箱体设置于穹顶的上方，具有用于包覆穹顶的顶面的空腔。进风装置设置于箱体的顶部中心区域，并连通空腔和大气环境。加热装置设置于箱体内并环绕于进风装置的周侧。空气扩散器设置于进风装置连通空腔的出风口处，并与箱体之间形成气流通道；其中，空气扩散器包括：无孔导向部和边缘固定部。无孔导向部位于进风装置的出风口下方，用于配合箱体将气流引导至加热装置的目标加热区域。边缘固定部位于无孔导向部的边缘，用于固定空气扩散器至箱体。本公开用于优化改善金属刻蚀机台中穹顶的冷却方式。
主权项：1.一种穹顶温控系统，其特征在于，包括：箱体，设置于穹顶的上方，具有用于包覆所述穹顶的顶面的空腔；进风装置，设置于所述箱体的顶部中心区域，并连通所述空腔和大气环境；加热装置，设置于所述箱体内并环绕于所述进风装置的周侧；空气扩散器，设置于所述进风装置连通所述空腔的出风口处，并与所述箱体之间形成气流通道；其中，所述空气扩散器包括：无孔导向部，位于所述进风装置的出风口下方，用于配合所述箱体将气流引导至所述加热装置的目标加热区域；边缘固定部，位于所述无孔导向部的边缘，用于固定所述空气扩散器至所述箱体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海先进半导体制造有限公司 穹顶温控系统、空气扩散器及金属刻蚀机台
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