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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本公开提供一种测漏工具和测漏系统，涉及半导体制备设备技术领域，用于解决静电吸盘与铝环组装形成的组件的测漏率试验效率低的问题，该测漏工具包括检测台、紧固件和连接管道。检测台具有装配面，装配面用于支撑待测件，且装配面被配置为与待测件密封配合。检测台设置有容纳槽，容纳槽的槽口位于装配面。连接管道的第一端与检测台相连，且与容纳槽连通，连接管道的第二端用于与测漏设备相连。在待测件装配至检测台的情况下，检测台和待测件通过紧固件对合连接，待测件覆盖容纳槽的槽口，且检测台与待测件之间形成检测腔。该测漏工具与待测件装配的过程中，无需考虑待测件的装配方向，有益于降低待测件测漏检测过程中的难度，提高测漏效率。
主权项：1.一种测漏工具，其特征在于，包括检测台、紧固件和连接管道，所述检测台具有装配面，所述装配面用于支撑待测件，且所述装配面被配置为与所述待测件密封配合；所述检测台设置有容纳槽，所述容纳槽的槽口位于所述装配面；所述连接管道的第一端与所述检测台相连，且与所述容纳槽连通，所述连接管道的第二端用于与测漏设备相连；在所述待测件装配至所述检测台的情况下，所述检测台和所述待测件通过所述紧固件对合连接，所述待测件覆盖所述容纳槽的槽口，且所述检测台与所述待测件之间形成检测腔。
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