龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国原子能科学研究院
摘要：本发明公开了一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构，该引出结构由包括两个地电极在内的内外嵌套的四根圆柱形电极组成；该内外嵌套的四根圆柱形电极组成引出区的两段加速区域；该两段加速区域用于调整引出区的场线分布；抑制极3和第二地电极4之间的减速区域用于抑制反向加速至源内的电子；第一电极2以防止抑制极电源上负载过高而导致损坏。该四根电极之间的间隙d和各自的半径r随着动态放电腔内径的尺寸变化而变化。本发明通过在等离子体电极和抑制电极之间加入一个地电极，使得引出口离子经过两次加速过程，改变了原有引出结构的场线分布，由于在等离子体电极1和抑制极3之间增加地电极，避免引出口电场磁场过大导致打火现象频繁发生。
主权项：1.一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构，其特征在于：该引出结构由包括两个地电极在内的内外嵌套的四根圆柱形电极组成；该内外嵌套的四根圆柱形电极组成引出区的两段加速区域；该引出区的两段加速区域用于调整引出区的场线分布；抑制极3和第二地电极4之间的减速区域用于抑制反向加速至源内的电子；第一地电极2用以防止抑制极电源上负载过高而导致损坏。该四根圆柱形电极之间的间隙d和各自的半径r随着动态放电腔内径的尺寸变化而变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国原子能科学研究院 一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号