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申请/专利权人：日新离子机器株式会社
摘要：本发明提供一种等离子体源，能够调整通过腔室内的磁通的方向。等离子体源具备：腔室10，生成等离子体；阴极20，设置于腔室10，发射电子；以及电磁铁30，设置在腔室10的周围，使磁通通过腔室10内，电磁铁30具有线圈C、以及使通过对线圈C通电而产生的磁通到达腔室10内的多个磁通通过部件30x，至少一个磁通通过部件30x的使用方式能够变更。
主权项：1.一种等离子体源，其特征在于，所述等离子体源具备：腔室，生成等离子体；阴极，设置于所述腔室，发射电子；以及电磁铁，设置在所述腔室的周围，使磁通通过所述腔室内，所述电磁铁具有：线圈；以及多个磁通通过部件，使通过对所述线圈通电而产生的磁通到达所述腔室内，至少一个所述磁通通过部件的使用方式能够变更。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日新离子机器株式会社 等离子体源
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