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申请/专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
摘要：本公开提供了一种弧光灯。该弧光灯可以包括管。该弧光灯可以包括一个或多个入口，所述一个或多个入口被配置为接收在操作期间循环通过弧光灯的水作为水冷壁，该水冷壁被配置为冷却弧光灯。该弧光灯可以包括多个电极，所述多个电极被配置为在经由一个或多个入口引入弧光灯的合成气体中产生等离子体。该合成气体可以是或可以包含氢气和惰性气体的混合物，混合物中氢气的浓度小于4体积％。氢气可以在产生等离子体之前引入弧光灯。该弧光灯可用于处理工件。
主权项：1.一种热处理系统，包括：被配置为对工件进行热处理的处理腔室；以及弧光灯热源，所述弧光灯热源包括：被配置为在合成气体中产生等离子体的多个电极，其中所述多个电极包括尖端和至少部分地围绕所述尖端的散热件，所述散热件包括内部部分和外部部分，其中所述内部部分和所述外部部分包括不同的材料；以及所述合成气体包含氢气和惰性气体的混合物，所述混合物中氢气的浓度小于4体积％，所述氢气在产生所述等离子体之前引入所述弧光灯。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京屹唐半导体科技股份有限公司 玛特森技术公司 用于热处理系统的具有合成气体的弧光灯
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