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申请/专利权人：苏州焜原光电有限公司
摘要：本发明提供了一种MBE高纯源加料设备及加料方法，其包括：MBE生长机构，其包括壳体、束源炉以及第一真空泵，壳体内部为工作腔；加料缓冲机构，其包括加料腔、传输组件、加热组件及第二真空泵，加热组件连接于加料腔；夹持转运机构，其包括柔性调节套以及夹持机械手，夹持机械手通过柔性调节套移动，待添加的高纯源通过夹持机械手由传输组件进入束源炉。本发明避免了MBE系统需要开腔加料的问题，进而大幅缩减了由于加料致使MBE系统使用效率降低的问题，实现了极高的经济价值。此外，相比于常规加料方式来说，本申请还兼具操作简单、安全程度高、实用范围广、加料洁净度高以及减少操作成本等优势。
主权项：1.一种MBE高纯源加料设备，其特征在于：包括：MBE生长机构，所述MBE生长机构包括壳体、多个束源炉以及第一真空泵，所述壳体内部为工作腔，多个所述束源炉分别连接于所述壳体，所述第一真空泵连接于所述壳体；加料缓冲机构，所述加料缓冲机构连接于所述壳体，其包括加料腔、传输组件、加热组件以及第二真空泵，所述第二真空泵连接于所述加料腔，待添加的高纯源通过所述加料腔进入所述传输组件，且随所述传输组件于所述工作腔及所述加料腔之间移动，所述加热组件连接于所述加料腔；夹持转运机构，所述夹持转运机构包括柔性调节套以及夹持机械手，所述柔性调节套与所述工作腔连通，所述夹持机械手连接于所述柔性调节套，且通过所述柔性调节套移动，待添加的高纯源通过所述夹持机械手由所述传输组件进入所述束源炉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州焜原光电有限公司 一种MBE高纯源加料设备及加料方法
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