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申请/专利权人：华海清科股份有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置，输液结构包括固定套筒和转轴，固定套筒内部具有装配腔，固定套筒的内壁具有输液管，输液管包括配合管段和装配管段；转轴的输液装配端伸入固定套筒的装配腔内，并与固定套筒之间通过轴承组件转动连接，转轴具有沿着其轴线贯通的输液通道，输液管的装配管段由输液装配端伸入输液通道内，且装配管段的外周面与输液通道的内壁之间具有第一间隙；其中，配合管段的外周面和转轴的输液装配端的端部均为台阶面，且配合管段和输液装配端之间具有台阶缝隙。根据本申请实施例的用于晶圆清洗装置的输液结构，能够避免由输液通道溢出的清洁液进入轴承组件所处的空间。
主权项：1.一种用于晶圆清洗装置的输液结构，其特征在于，所述输液结构包括：固定套筒，所述固定套筒内部具有装配腔，所述固定套筒的内壁具有输液管，所述输液管包括配合管段和装配管段；转轴，所述转轴的输液装配端伸入所述固定套筒的所述装配腔内，并与所述固定套筒之间通过轴承组件转动连接，所述转轴的清洁装配端与所述晶圆清洗装置的滚刷组件连接；所述转轴具有沿着其轴线贯通的输液通道，所述输液管的所述装配管段由所述输液装配端伸入所述输液通道内，两者之间具有第一间隙；其中，所述配合管段的外周面和所述输液装配端的端部均为台阶面，且所述配合管段和所述输液装配端之间具有台阶缝隙，所述台阶缝隙的输入口与所述第一间隙连通，所述台阶缝隙的输出口朝向所述输液管的根部设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司 用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置
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