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申请/专利权人：苏州建高远微电子设备科技有限公司
摘要：本发明涉及自动化控制设备技术领域，具体地涉及激光直写光刻机台框开合机构，包括上台框工作组和下台框工作组，上台框工作组、下台框工作组相对限位设置，且上台框工作组、下台框工作组上设有操控处理结构，通过操控处理结构能够控制上台框工作组、下台框工作组相对运行，从而进行上台框工作组、下台框工作组之间的开合控制,操控处理结构包括伺服电机，伺服电机上驱动连接有紧密丝杆，且紧密丝杆与导轨升降连接架螺纹连接，导轨升降连接架通过第一直线导轨、第二直线导轨进行限位，能够沿直线运动，导轨升降连接架一侧固定连接有升降梯形块，升降梯形块背离导轨升降连接架的一侧固定连接有升降V形块。通过结构的设置，方便进行开合调节目的。
主权项：1.激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：包括上台框工作组（5）和下台框工作组（9），所述上台框工作组（5）、下台框工作组（9）相对限位设置，且上台框工作组（5）、下台框工作组（9）上设有操控处理结构，通过操控处理结构能够控制上台框工作组（5）、下台框工作组（9）相对运行，从而进行上台框工作组（5）、下台框工作组（9）之间的开合控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州建高远微电子设备科技有限公司 激光直写光刻机台框开合机构
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