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申请/专利权人：赛德半导体有限公司
摘要：本发明属于柔性玻璃蚀刻领域，尤其涉及一种柔性玻璃蚀刻设备，它包括支架、圆筒A、圆筒B、电机B、圆筒C、板条、圆筒D、电机C、圆筒E、电机D，其中安装于支架的圆筒A的内柱面上旋转有被电机B驱动且内壁光滑的圆筒B，圆筒B内壁上具有用来周向均匀放置若干柔性玻璃且有带动柔性玻璃同步旋转的结构。本发明针对柔性玻璃可以使得玻璃在离心作用下紧贴圆筒B的内壁，从而消除柔性玻璃在弹性作用下无法被完全支撑的缺点。
主权项：1.一种柔性玻璃蚀刻设备，其特征在于：它包括支架、圆筒A、圆筒B、电机B、圆筒C、板条、圆筒D、电机C、圆筒E、电机D，其中安装于支架的圆筒A的内柱面上旋转有被电机B驱动且内壁光滑的圆筒B，圆筒B内壁上具有用来周向均匀放置若干柔性玻璃且有带动柔性玻璃同步旋转的结构；圆筒A内底部安装有壁面密布有排液槽A的同轴线圆筒C，圆筒C外侧通过固定杆安装有若干周向均匀分布且将圆筒C外围区域分隔成周向均匀分布的若干部分的板条；圆筒C内旋转有被电机C驱动且上下端封闭的圆筒D，圆筒D侧壁密布有与排液槽A一一对应配合的排液槽B，圆筒D上端具有向内添加化学液的结构；板条外侧竖直运动有将圆筒B内柔性玻璃与圆筒C外围化学液隔绝且被三个电机D驱动的圆筒E；圆筒A底部具有排出圆筒C与圆筒E之间区域内化学液的结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛德半导体有限公司 一种柔性玻璃蚀刻设备
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