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一种用于真空蒸镀可自动翻面并快速冷却的工装 

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申请/专利权人:苏州博志金钻科技有限责任公司

摘要:本实用新型公开了一种用于真空蒸镀可自动翻面并快速冷却的工装,包括框架、第一自转转动组件和第二自转转动组件,主传动杆与从传动杆分别与框架转动连接,主传动齿轮固定在主传动杆上,主传动齿轮与从传动齿轮相互啮合,传动杆上固定连接有从传动齿轮,第一传动件与从传动杆固定连接,第二传动件与第一传动件之间相互配合。本申请一方面通过第一自转转动组件和第二自转转动组件配合,从而实现在蒸镀过程中基片自动旋转翻面,实现基片双面镀膜;另一方面整个工装设计为中空的结构,镀膜结束后可通过进口管通入液氮,液氮流经整个工装的内部,由出口管流出,使整个工装快速冷却降温。

主权项:1.一种用于真空蒸镀可自动翻面并快速冷却的工装,包括框架,其特征在于:还包括第一自转转动组件和第二自转转动组件,所述第一自转转动组件包括主传动杆、主传动齿轮、从传动齿轮以及从传动杆,所述主传动齿轮固定在所述主传动杆上,所述从传动杆上固定连接有所述从传动齿轮,所述主传动杆与所述从传动杆分别与所述框架转动连接,相邻两个所述从传动齿轮彼此之间相互啮合,所述主传动齿轮与至少一个所述从传动齿轮相互啮合,所述第二自转转动组件包括第一传动件、第二传动件以及多个横向转轴,所述第一传动件与所述从传动杆固定连接,所述第二传动件位于所述横向转轴上,每一所述第二传动件与每一所述第一传动件之间相互配合,所述横向转轴设有多个存放基片的工位,所述基片水平放置,所述工装为中空结构,用于通入冷却液。

全文数据:

权利要求:

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