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申请/专利权人：浙江晶越半导体有限公司
摘要：本发明涉及莫桑石生产技术领域，尤其涉及一种用于生产无色莫桑石的坩埚及生产无色莫桑石的方法，所述坩埚包括坩埚主体以及坩埚盖，所述坩埚主体内部设置有一空腔，所述空腔从下至上依次包括用于放置碳化硅粉源的粉源区以及用于输送碳化硅气体的自由流动区，所述粉源区上方设置有一个过滤层，所述过滤层内部填充有用于吸附从粉源区流出的碳化硅升华气中的杂质气体的吸附剂，所述自由流动区内部还设置有环绕坩埚主体内壁一周的保温组件，所述坩埚盖下方设置有一用于粘结籽晶的籽晶石墨组。本申请通过在坩埚主体内部设置有一个填充有吸附剂的过滤层能够有效去除碳化硅升华气中的小颗粒杂质以及杂质气体有效防止莫桑石出现杂色的问题。
主权项：1.一种用于生产无色莫桑石的坩埚，其特征在于，包括坩埚主体（1）以及坩埚盖（2），所述坩埚主体（1）内部设置有一空腔（3），所述空腔（3）从下至上依次包括用于放置碳化硅粉源的粉源区（4）以及用于输送碳化硅气体的自由流动区（5），所述粉源区（4）上方设置有一个过滤层（6），所述过滤层（6）内部填充有用于吸附从粉源区（4）流出的碳化硅升华气中的杂质气体的吸附剂（7），所述自由流动区（5）内部还设置有环绕坩埚主体（1）内壁一周的保温组件（8），所述坩埚盖（2）下方设置有一用于粘结籽晶（9）的籽晶石墨组（10）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶越半导体有限公司 一种用于生产无色莫桑石的坩埚及生产无色莫桑石的方法
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