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申请/专利权人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
摘要：本申请提供一种坩埚测量装置和设备，涉及单晶硅生长领域；其中，该坩埚测量装置包括机架、第一测量件和第二测量件；机架设有坩埚测量位，坩埚测量位内具有垂直于坩埚测量位的测量中心轴线；第一测量件滑动地设置于坩埚测量位的一侧，且第一测量件设有第一抵接部和第一测量部，第一测量部和第一抵接部沿第一方向间隔设置；第二测量件滑动地设置于坩埚测量位的另一侧，且第二测量件设有第二抵接部和第二测量部，第二测量部与第二抵接部沿第一方向间隔设置，且第二测量部与第一测量部沿垂直于第一方向的第二方向间隔设置，第二抵接部与第一抵接部沿第二方向间隔设置；本申请通过第一测量件和第二测量件的配合，实现了坩埚外径的快速测量。
主权项：1.一种坩埚测量装置，其特征在于，包括：机架，设有坩埚测量位，所述坩埚测量位内具有垂直于所述坩埚测量位的测量中心轴线；第一测量件，滑动地设置于所述坩埚测量位的一侧，且所述第一测量件设有第一抵接部和第一测量部，所述第一测量部和所述第一抵接部沿第一方向间隔设置；第二测量件，滑动地设置于所述坩埚测量位的另一侧，且所述第二测量件设有第二抵接部和第二测量部，所述第二测量部与所述第二抵接部沿第一方向间隔设置，且第二测量部与所述第一测量部沿垂直于第一方向的第二方向间隔设置，所述第二抵接部与所述第一抵接部沿第二方向间隔设置；当所述第一测量件和所述第二测量件朝向所述坩埚测量位滑动到位时，所述第一抵接部和所述第二抵接部分别抵接所述坩埚外壁，且所述第一测量部与所述第二测量部的测量行程经过所述测量中心轴线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司 坩埚测量装置和设备
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