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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要:本发明涉及半导体激光器领域,尤其涉及一种具有双腔模式调控功能的VCSEL,包括衬底,在衬底的底面制备有N型电极,在衬底的顶面制备有外延结构,在外延结构的表面制备有功能结构层,在功能结构层的内部制备对高阶模式进行滤除的高阶模式过滤结构,在功能结构层的表面制备有对基模进行汇聚的模式汇聚结构,在功能结构层的表面还制备有P型电极。本发明只在出光孔的边缘区域设计高阶模式过滤结构,改变传统滤波结构将光栅集成在整个激光器表面的方式,保证高阶模式过滤结构只对出光孔边缘的高阶模式进行滤除,而不影响中心区域的基膜的稳定输出;以及,通过高阶模式过滤结构与模式汇聚结构的设计,能够在滤除高阶模式的同时实现对基模的汇聚。
主权项:1.一种具有双腔模式调控功能的VCSEL,包括衬底,在衬底的底面制备有N型电极,在衬底的顶面制备有外延结构,其特征在于,在外延结构的表面制备有功能结构层,在功能结构层的内部制备对高阶模式进行滤除的高阶模式过滤结构,在功能结构层的表面制备有对基模进行汇聚的模式汇聚结构,在功能结构层的表面还制备有P型电极。
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权利要求:
百度查询: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 具有双腔模式调控功能的VCSEL及其制备方法
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