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一种高纯氧化镓多晶体的制备方法及装置 

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申请/专利权人:中原关键金属实验室

摘要:本发明公开了一种高纯氧化镓多晶体的制备方法及装置,包括高温炉,以及固定在高温炉顶端的顶罩,且顶罩顶端设置有外延的边沿板,所述顶罩的顶端连接有封堵罩。该高纯氧化镓多晶体的制备方法及装置,利用旋转电机带动连接轴旋转,并使小齿轮同步旋转,利用小齿轮和大齿盘的相互啮合作用,即可使大齿盘同步做旋转运动,继而使多组转动轴在高温炉的内部转动,做圆周转动,此过程中利用伺服电机带动主动轴旋转,配合联动带即可使联动轴、从动轴同步旋转,以实现多轴同步联动转动,继而可以进一步实现多组转动轴的自转,利用转盘和多组搅动杆同步转动,继而可以对高温炉中的热量进行打散、搅动,促进热量均匀分布。

主权项:1.一种高纯氧化镓多晶体的制备装置,包括高温炉1,以及固定在高温炉1顶端的顶罩2,且顶罩2顶端设置有外延的边沿板;所述顶罩2的顶端连接有封堵罩3,且封堵罩3和顶罩2上皆均匀设置有螺纹孔,所述顶罩2和封堵罩3通过多组固定螺栓组成可拆式连接,所述封堵罩3上设置有环状槽301和支撑槽302,且环状槽301和支撑槽302均为环状设置;所述顶罩2的一侧连接有注气管4,且注气管4上设置有点火器401;其特征在于,还包括:所述顶罩2顶端的一侧设置有匀热机构13,且匀热机构13的一侧设置有多轴联动机构14;所述高温炉1内部的底端连接有主电机10,且主电机10的顶端固定连接有转轴11,所述主电机10的外侧套接有防火罩9,且防火罩9设置于高温炉1内部的底端,所述防火罩9的顶端连接有堵水块15,所述转轴11的一端固定连接有旋转座12,且旋转座12的顶端固定设置有安装座7,且安装座7的顶端连接有制备坩埚5。

全文数据:

权利要求:

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