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申请/专利权人：北京大学
摘要：本发明公开了一种成分可调的超平整合金单晶晶圆的制备方法，属于单晶晶圆材料领域。本发明的铜镍合金单晶晶圆的制备方法，包括如下步骤：1采用磁控溅射的方法在蓝宝石上溅射一层镍膜，然后在镍膜上再溅射一层铜膜，得到铜镍蓝宝石；2将所述铜镍蓝宝石进行高温退火处理，得到所述铜镍合金单晶晶圆。本发明的方法可以制备4英寸的成分可调节的铜镍合金单晶晶圆，其表面平整度高、单晶面积大，在催化和电子器件、二维材料制备等领域具有广泛的应用前景。
主权项：1.一种铜镍合金单晶晶圆的制备方法，包括如下步骤：1采用磁控溅射的方法在蓝宝石上溅射一层镍膜，然后在镍膜上再溅射一层铜膜，得到铜镍蓝宝石；2将所述铜镍蓝宝石进行高温退火处理，得到所述铜镍合金单晶晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 一种成分可调的超平整合金单晶晶圆的制备方法
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