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申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司

摘要：一种用于半球谐振子抛光的柔性加压抛光主轴，包含抛光头加工组件、抛光头微调组件、抛光头加压组件和抛光头运动组件。本实用新型用于在半球谐振子抛光机上，实现抛光前对抛光头的微调和抛光时对抛光头进行柔性施压以适应不同尺寸、不同表面情况的半球谐振子。

主权项：1.一种用于半球谐振子抛光的柔性加压抛光主轴，其特征在于，包括：抛光加工组件1、抛光微调组件2、抛光加压组件3和抛光运动组件4；所述抛光微调组件2安装在抛光加工组件1上，所述抛光加工组件1置于在抛光加压组件3上，所述抛光加压组件3安装在抛光运动组件4上方；所述抛光加工组件1包含抛光头1-1、弹簧夹头1-2、螺帽1-3、主轴1-4、多个轴承1-5、加工主轴外壳1-6、端盖1-7和空心电机1-8；所述弹簧夹头1-2夹紧抛光头1-1，所述螺帽1-3用于固定弹簧夹头1-2并与加工主轴1-4连接，所述加工主轴1-4穿过多个轴承1-5，尾部安装在空心电机1-8上，所述轴承1-5外部装有加工主轴外壳1-6和端盖1-7；所述抛光微调组件2包含微调上板2-1、限位螺丝2-2、导向柱2-3、微调块2-4和上过渡板2-5；所述微调上板2-1上装有限位螺丝2-2，所述微调上板2-1通过导向柱2-3与上过渡板2-5连接，所述导向柱2-3通过微调块2-4与主轴外壳1-6相连接；所述抛光加压组件3包含过渡块3-1、短导轨3-2、小滑块3-3、直线推杆3-4、上锁紧块3-5和下锁紧块3-6；所述短导轨3-2上设有与上过渡板2-5相接的小滑块3-3，所述直线推杆3-4通过过渡块3-1直连在上过渡板2-5上，所述直线推杆3-4尾部通过上锁紧块3-5和下锁紧块3-6夹紧固定；所述抛光运动组件4包含过渡滑块4-1、后轴承座4-2、前轴承座4-3、滚珠丝杆模组4-4、联轴器4-5、加强筋4-6、法兰板4-7、伺服电机4-8、摆动板4-9、夹紧条4-10、导轨模组4-11、大基板4-12和折弯T型板4-13；所述导轨模组4-11固定在大基板4-12上，再与过渡滑块4-1连接，所述滚珠丝杆模组4-4通过前轴承座4-3与后轴承座4-2限位固定，所述法兰板4-7与大基板4-12通过加强筋4-6连接，所述伺服电机4-8固定于法兰板4-7上，所述伺服电机4-8顶部连有联轴器4-5，可将旋转动力传递给滚珠丝杆模组4-4，进而通过导轨模组4-11带动过渡滑块4-1运动，所述大基板4-12与夹紧条4-10通过螺纹上下抱紧的方式固定在摆动板4-9上，固定用以整体调整角度限位用。

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