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申请/专利权人：西安航空学院
摘要：本实用新型涉及一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，包括反应腔室，在反应腔室顶部、侧面安装有固定架，在所述固定架上固定安装有直线电机，直线电机的顶杆与滑轨的连接杆固定，同时与密封波纹管连接，所述滑轨分别在水平、垂直方向布置有两个，交叉部位由滑块连接，所述滑块在滑轨动作时被带动在XY平面移动，所述滑块与朗缪尔探针的探头连接，保证探头与滑块同步移动。本实用新型中的探针基座与探头之间为柔性连接，在两个直线电机的动作下实现反应腔室内二维平面大范围的任意定位，从而实现PEALD反应腔室内等离子体特性在二维平面内的精准检测。
主权项：1.一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，包括反应腔室1，其特征在于，在所述反应腔室1内设置有两个垂直交叉的滑轨，在两个滑轨的交叉部安装有滑块10，所述滑块10能够沿着任意一个滑轨滑动，两个所述滑轨分别通过连接杆连接直线电机，所述直线电机固定于所述反应腔室1外侧，所述滑块10连接用于检测等离子体特性的朗缪尔探针11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航空学院 一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构
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