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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

摘要：本发明公开了一种具有普适性的高精度激光测量光轴对准装置及方法，解决了现有激光光轴对准技术的对准精度偏低、光斑重合对位难度大的问题，具体包括分光系统、杂散光测量系统、激光干涉位移测量系统及光轴对准测量系统；分光系统包括第一分光棱镜、第二分光棱镜和第三分光棱镜；激光干涉位移测量系统包括双频激光器和激光干涉位移测量单元；光轴对准测量系统包括位置探测器、光纤耦合器、接收器、采集卡以及上位机；本发明利用激光干涉位移测量单元形成的干涉条纹和双向测量的独立性，形成普适性高精度激光测量光轴对准装置。该装置通过调节干涉条纹、参考光斑以及测量光斑实现光轴对准，能够获得高精度光轴对准度。

主权项：1.一种具有普适性的高精度激光测量光轴对准装置，用于待对准激光器1与实时测试单元6的光轴对准；其特征在于：包括分光系统、杂散光测量系统、激光干涉位移测量系统及光轴对准测量系统；所述分光系统包括第一分光棱镜301、第二分光棱镜302和第三分光棱镜303；所述激光干涉位移测量系统包括双频激光器2和激光干涉位移测量单元7；所述光轴对准测量系统包括位置探测器5、光纤耦合器8、接收器9、采集卡10以及上位机11；所述第一分光棱镜301设置在待对准激光器1与实时测试单元6之间，且第一分光棱镜301与实时测试单元6依次位于第二分光棱镜302的第一反射光路上；所述第二分光棱镜302和第三分光棱镜303依次设置在双频激光器2和激光干涉位移测量单元7之间，且第二分光棱镜302位于第一分光棱镜301的第二反射光路上；所述位置探测器5位于第一分光棱镜301的第一反射光路上，用于预对准时获得第一参考光斑和第一测量光斑，其输出端与采集卡10输入端连接；所述光纤耦合器8位于第三分光棱镜303的第二反射光路上，用于对准时获得第一干涉信号，其输出端与采集卡10输入端连接；所述接收器9位于第二分光棱镜302的第二反射光路上，用于预对准时获得第二参考光斑、第二干涉信号和第二测量光斑，其输出端与采集卡10输入端连接；所述采集卡10的输出端与上位机11的输入端连接；所述上位机11用于根据第一参考光斑和第一测量光斑计算待对准激光器1与双频激光器2之间光轴的方位角度信息ΔL，并根据第二参考光斑和第二测量光斑，以及第一干涉信号和或第二干涉信号，获得实时测试单元6和激光干涉位移测量单元7之间光轴的偏移量Δα。

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