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申请/专利权人：苏州感测通信息科技有限公司
摘要：本发明提供一种全解耦的角速率传感器，包括：衬底、设置于衬底上的驱动结构和检测结构；所述驱动结构通过驱动连接梁连接于所述检测结构；所述检测结构环绕中心锚接组合梁设置；所述中心锚接组合梁设置于所述衬底的中心位置；所述检测结构与所述中心锚接组合梁连接，其内部弹性连接的检测质量块由所述中心锚接组合梁进行限位，使得所述检测结构由所述驱动结构带动在X轴和Y轴所在xy平面内运动时，所述检测质量块保持静止状态；当外界具有角速度输入时，所述检测质量块在垂直于所述xy平面的Z轴方向进行往复运动，以此实现了角速率传感器中驱动与检测的解耦，降低了驱动对检测的正交影响，提高了陀螺的精度。
主权项：1.一种全解耦的角速率传感器，其特征在于，包括：衬底、设置于衬底上的驱动结构和检测结构；所述驱动结构通过驱动连接梁连接于所述检测结构；所述检测结构环绕中心锚接组合梁设置；所述中心锚接组合梁设置于所述衬底的中心位置；所述检测结构与所述中心锚接组合梁连接，其内部弹性连接的检测质量块由所述中心锚接组合梁进行限位，使得所述检测结构由所述驱动结构带动在X轴和Y轴所在xy平面内运动时，所述检测质量块保持静止状态；当外界具有角速度输入时，所述检测质量块在垂直于所述xy平面的Z轴方向进行往复运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州感测通信息科技有限公司 一种全解耦的角速率传感器
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