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一种高透金属网格电极的全加成制备方法 

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申请/专利权人:深圳市志凌伟业技术股份有限公司

摘要:本发明实施例公开了一种高透金属网格电极的全加成制备方法,包括:步骤S1:涂刷种子层;步骤S2:涂刷透明光刻胶;步骤S3:曝光显影出线路凹槽;步骤S4:二次强曝光;步骤S5:化学镀铜及黑化。本发明通过在透明基材上涂刷钯金种子层,再制备线路凹槽,最后通过直接化学镀,实现了透明金属网格的全加成制备,解决了黄光减法工艺对铜膜材料依耐度高、节点大及资源浪费严重等缺陷。本发明提供的透明金属网格的全加成制备方法,制备过程简单可控、投入低,有效地提高产品回报率和经济效益。

主权项:1.一种高透金属网格电极的全加成制备方法,其特征在于,该制备方法包括如下步骤:步骤S1:在透明基材1上涂刷种子层2;步骤S2:涂刷透明光刻胶3;步骤S3:曝光显影出线路凹槽4;步骤S4:二次强曝光;步骤S5:化学镀铜及黑化。

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