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申请/专利权人：杭州泓芯微半导体有限公司
摘要：本发明涉及石英玻璃加工技术领域，且公开了一种石英管自输送内壁加热除杂装置，所述石英管加工除杂装置，包括支撑台，进料托槽，激光加热组件，所述支撑台上设置有传输滚轮与支撑圆柱轴，所述传输滚轮中心设置有传动轴，石英管进料的传输台一侧设置有进料托槽，所述激光加热组件包括石英管护板，所述石英管护板通过左右两端的护板支撑板设置在石英管正上方，与支撑圆柱轴较近的一侧护板支撑板上连接有激光发射管，所述激光发射管端部设置有激光发射头，所述激光发射头部位的石英管内腔通过支撑杆设置有受热组件，该石英管加工除杂装置，通过斜向传动方式配合激光加热陶瓷，实现了对石英管壁面的快速均匀加热去杂。
主权项：1.一种石英管自输送内壁加热除杂装置，包括支撑台（1），进料托槽（2），激光加热组件（3），其特征在于：所述支撑台（1）上设置有中心点水平直线排列的两个以上的传输滚轮（11），所述传输滚轮（11）轴线与所述传输滚轮（11）中心连线相交，不同的所述传输滚轮（11）通过动力组件（13）带动同步旋转；所述传输滚轮（11）中心连线的另一侧设计有轴线与其平行的支撑圆柱轴（12）；前后排列的所述传输滚轮（11）与支撑圆柱轴（12）上放置有待加工的石英管（6）；所述传输滚轮（11）通过旋转带动石英管（6）旋转向前运动；水平放置的所述石英管（6）内壁最低处放置有固定的受热组件（4），所述受热组件（4）下部的受热面滑动贴附在所述石英管（6）的内壁上，所述石英管（6）下方设计有发射面正对受热组件（4）下部受热面的激光加热组件（3）。
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权利要求：
百度查询： 杭州泓芯微半导体有限公司 一种石英管自输送内壁加热除杂装置
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