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申请/专利权人：名正(浙江)电子装备有限公司

摘要：本发明涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片加工用洗烘一体化装置及其使用方法，包括主体和水气接头，水气接头固定连接在主体顶部，主体内壁固定连接有两个环形圈，还包括扰流机构，扰流机构设置在主体内部，扰流机构包括有旋转筒，旋转筒转动连接在主体内部，旋转筒外壁位于两个环形圈之间的一处开设有若干个扰流口。本发明将遗留在主体和硅片上的溶液冲洗干净，再将干燥的气体通过水气接头内部注入主体内部对硅片进行干燥，不需要将清洗完成的硅片移动到另一个干燥装置内部进行干燥，从而可以在对硅片清洁完成后直接进行干燥，步骤简单，提高了该清洗设备一体化程度，进而提高了该装置的清洗效率。

主权项：1.一种硅片加工用洗烘一体化装置，包括主体（1）和水气接头（103），所述水气接头（103）固定连接在主体（1）顶部，所述主体（1）内壁固定连接有两个环形圈（102），其特征在于，还包括：扰流机构（2），所述扰流机构（2）设置在主体（1）内部，所述扰流机构（2）包括有旋转筒（201），所述旋转筒（201）转动连接在主体（1）内部，所述旋转筒（201）外壁位于两个环形圈（102）之间的一处开设有若干个扰流口（204）；连接机构（3），所述连接机构（3）设置在旋转筒（201）内部，所述连接机构（3）包括有连接筒（301），所述连接筒（301）转动连接在旋转筒（201）内部，所述连接筒（301）外壁与扰流口（204）对应的一处开设有多个入水口（303）；放置机构（4），所述放置机构（4）设置在连接筒（301）内部，所述放置机构（4）包括有晶圆架（401），所述晶圆架（401）插接在连接筒（301）内部，所述晶圆架（401）顶部套接有盖架（403）；所述扰流机构（2）还包括两个密封架（202），两个所述密封架（202）固定连接在旋转筒（201）外壁，两个所述密封架（202）外壁均开设有环形槽（203），所述环形槽（203）内壁与环形圈（102）外壁转动连接，所述旋转筒（201）外壁固定连接有两组连接齿块（205）；两组所述连接齿块（205）分别与两个传动齿轮（107）啮合，所述旋转筒（201）内壁与两个密封架（202）对应的两处均固定连接有连接转环（206），所述连接转环（206）外壁贯穿开设有多个通孔（207），所述旋转筒（201）远离插入口（104）的一侧固定连接有两个拨动架（208），两个所述拨动架（208）靠近插入口（104）的一侧均开设有稳定滑槽（209），所述稳定滑槽（209）外壁开设有扰动槽（210）；所述连接机构（3）还包括两个连接转槽（302），两个所述连接转槽（302）分别开设在连接筒（301）外壁与两个连接转环（206）对应的两处，所述连接筒（301）内壁固定连接有两个滑条（304），多个所述入水口（303）与若干个扰流口（204）相对应配合使用；其中，所述晶圆架（401）底部与盖架（403）底部与两个滑条（304）对应的两处均开设有连接滑槽（404）。

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