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申请/专利权人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：本发明涉及一种使构件11、21的表面区域变得平滑的方法，该构件至少在表面区域内由导电材料构成，其中在真空室内借助至少一个具有第一表面能、聚焦的电子束13、23扫过构件11、21的表面区域，该第一表面能致使表面区域内的构件材料熔化，其中a在熔化之前借助电子束13、23分别以电子束13、23的不同焦距27a、27b、27c至少两次扫过表面区域，其中，b设定电子束13、23的第二表面能，该第二表面能不会致使表面区域中的构件材料熔化，其中c借助多个布置在真空室内的传感器14、24采集表征由入射到传感器14、24上的背散射电子引起的电流的数据，其中d在分析装置15、25内根据传感器14、24所采集的数据推导出所表面区域内的粗糙度的实际值，将该粗糙度的实际值与粗糙度的目标值进行比较，如果粗糙度的实际值未达到粗糙度的目标值，则根据比较结果确定第一表面能的值，然后e借助电子束13、23以第一表面能扫过表面区域，而后继续执行方法步骤a。
主权项：1.一种用于平滑构件11、21的表面区域的方法，该构件至少在所述表面区域内由导电材料构成，其中在真空室内借助至少一个具有第一表面能的、聚焦的电子束13、23扫过所述构件11、21的所述表面区域，所述第一表面能致使所述表面区域内的构件材料熔化，其特征在于，a在熔化之前借助所述电子束13、23分别以所述电子束13、23的不同焦距27a、27b、27c至少两次扫过所述表面区域，其中b设定用于所述电子束13、23的第二表面能，所述第二表面能不会致使所述表面区域中的构件材料熔化，其中c借助多个布置在所述真空室内的传感器14、24采集表征由入射到所述传感器14、24上的背散射电子引起的电流的数据，其中d在分析装置15、25内根据所述传感器14、24所采集的数据推导出所表面区域内的粗糙度的实际值，将所述粗糙度的实际值与所述粗糙度的目标值进行比较，如果所述粗糙度的实际值未达到所述粗糙度的目标值，则根据比较结果确定所述第一表面能的值，然后e借助具有所述第一表面能的电子束13；23扫过所述表面区域，而后继续执行方法步骤a。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 用于平滑构件的表面区域的方法
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