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申请/专利权人：杭州昆泰磁悬浮技术有限公司
摘要：本申请涉及分子泵技术领域，公开了一种分子泵，包括基座、转轴、第一轴承座、第一轴承以及泵芯组件，转轴包括转轴本体和推力盘，第一轴承座固定安装于基座，泵芯组件设置于基座与转轴之间，泵芯组件包括轴向磁悬浮轴承，沿转轴的轴向，轴向磁悬浮轴承包括间隔开的第一轴磁导磁环和第二轴磁导磁环，第一轴磁导磁环和第二轴磁导磁环分别设置于推力盘的两侧，其中，沿转轴的轴向，泵芯组件相对于第一轴承座可移动，以调整第一轴磁导磁环与推力盘之间的距离和第二轴磁导磁环与推力盘之间的距离。其有益效果是提高了分子泵运行的稳定性以及降低了维修和装配成本。
主权项：1.一种分子泵，其特征在于，包括：基座，具有容纳空间；转轴，设置于所述容纳空间，所述转轴包括转轴本体和推力盘，沿所述转轴的径向，所述推力盘的至少部分凸出于所述转轴本体的外周面；第一轴承座和第一轴承，所述第一轴承座和所述第一轴承设置于所述容纳空间，所述第一轴承座固定安装于所述基座，沿所述转轴的径向，所述第一轴承设置于所述第一轴承座与所述转轴本体在轴向上的一端之间；泵芯组件，沿所述转轴的径向，所述泵芯组件设置于所述基座与所述转轴之间，所述泵芯组件包括轴向磁悬浮轴承，沿所述转轴的轴向，所述轴向磁悬浮轴承包括间隔开的第一轴磁导磁环和第二轴磁导磁环，所述第一轴磁导磁环和所述第二轴磁导磁环分别设置于所述推力盘的两侧；调整机构，设置于所述第一轴承座，所述调整机构与所述泵芯组件连接以驱动所述泵芯组件相对于所述第一轴承座移动；所述泵芯组件还包括定子壳体，所述轴向磁悬浮轴承设置于所述定子壳体内，所述第一轴磁导磁环与所述第二轴磁导磁环均与所述定子壳体固定连接；其中，沿所述转轴的轴向，所述调整机构与所述定子壳体连接以驱动所述泵芯组件相对于所述第一轴承座移动，以调整所述第一轴磁导磁环与所述推力盘之间的距离和所述第二轴磁导磁环与所述推力盘之间的距离。
全文数据：
权利要求：
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