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申请/专利权人：深圳市磐锋精密技术有限公司

摘要：本发明涉及一种晶圆贴膜装置及其贴膜方法，取料机械手从晶圆仓取料后通过寻边机进行定位，并通过读码器读取晶圆ID，能够精准定位晶圆。载台配置吸尘机构，能够避免膜材切割时产生的灰尘颗粒导致贴膜效果不好以及对设备内部环境造成污染；加热机构对吸附台进行加热，能够使得贴膜更加紧密。拉膜机构能够保证贴覆膜完全伸展，避免贴覆时出现皱褶，剥膜机构能够方便废膜的剥离。贴覆膜的裁切采用了镭射切割单元，保证了贴膜效果，更有效的兼容不同外形产品尺寸且提升切割效率与切割效果，解决机械切割常出现的切割毛刺及频繁更换切割刀具等问题。配置了视觉检测单元，保证了载台的清洁，并在贴膜前后分对晶圆进行检测，能够确保贴膜效果和贴膜质量。

主权项：1.一种晶圆贴膜装置，其特征在于，包括：晶圆仓；取料机械手；寻边机，配置在所述取料机械手的一侧，所述寻边机上设有读码器；载台，所述取料机械手从所述晶圆仓拾取晶圆原料放置于所述寻边机上进行对位定位并通过所述读码器读取ID后，所述取料机械手将晶圆原料放置于所述载台上，所述载台包括吸附台、顶出机构、平台升降机构、吸尘机构和加热机构，所述吸附台上设有若干用于吸附晶圆原料的吸嘴，所述吸附台设有供所述顶出机构的顶出杆伸出的顶出孔，所述吸尘机构环绕所述吸附台，所述加热机构对所述吸附台进行加热，所述平台升降机构驱动所述吸附台和或所述吸尘机构进行升降；直线传送机构，驱动所述载台移动；平台清洁单元，用于对所述载台进行清洁；贴膜单元，所述载台通过所述直线传送机构传送至所述贴膜单元，所述贴膜单元配合所述载台对晶圆原料进行覆膜，所述贴膜单元包括放膜机构、分离机构、离型膜收料机构、废膜收料机构、拉膜机构、覆膜机构和剥膜机构，所述分离机构将所述放膜机构放出的膜材的离型膜分离，所述离型膜收料机构收卷离型膜，所述拉膜机构控制贴覆膜的张力，所述平台升降机构驱动所述吸附台上升，所述覆膜机构通过滚动将贴覆膜贴合在晶圆原料上；镭射切割单元，所述镭射切割单元设置在所述贴膜单元的上方，在所述贴膜单元覆膜后所述镭射切割单元对贴覆膜进行镭射切割，所述吸尘机构启动抽尘，切割后所述剥膜机构将废膜剥离、所述废膜收料机构收卷废膜；视觉检测单元，位于所述直线传送机构靠近所述晶圆仓的一端，所述视觉检测单元在所述载台上料前对所述载台进行检测，在所述取料机械手将晶圆原料放置到所述载台上后对所述晶圆原料进行检测，在所述贴膜单元贴膜后所述直线传送该机构将所述载台传送回到所述视觉检测单元时对贴膜后的覆膜晶圆进行检测。

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