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申请/专利权人：天津中科晶禾电子科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种磁约束的直流辉光放电等离子体装置和键合设备，磁约束的直流辉光放电等离子体装置包括：阴极板具有容纳腔，至少两个阳极棒位于容纳腔内，至少两个阳极棒与阴极板用于在外加电压下产生偏置电场；阴极板包括第一阴极板；第一阴极板具有发射孔；第一永磁铁和第二永磁铁位于容纳腔外，第一永磁铁和第二永磁铁沿第一方向位于阴极板两侧，且第一永磁铁和第二永磁铁设置于阳极棒和第一阴极板之间的区域；第一永磁铁和第二永磁铁用于将容纳腔中的等离子体约束在至少两个阳极棒和第一阴极板之间的区域。本发明能够避免在容纳腔中引入杂质元素，降低了离子对阴极板的刻蚀，防止了容纳腔内的碳原子颗粒泄露造成的晶圆键合面污染。
主权项：1.一种磁约束的直流辉光放电等离子体装置，其特征在于，包括：阴极板、至少两个阳极棒、第一永磁铁和第二永磁铁；所述阴极板具有容纳腔，所述至少两个阳极棒位于所述容纳腔内，所述至少两个阳极棒沿第一方向排列；所述至少两个阳极棒与所述阴极板用于在外加电压下产生偏置电场；所述阴极板包括第一阴极板；所述第一阴极板具有发射孔；其中，所述第一方向与所述阳极棒的延伸方向垂直，且所述第一方向与所述第一阴极板平行；所述第一永磁铁和所述第二永磁铁位于所述容纳腔外，所述第一永磁铁和所述第二永磁铁沿所述第一方向位于所述阴极板两侧，且所述第一永磁铁和所述第二永磁铁设置于所述阳极棒和所述第一阴极板之间的区域；所述第一永磁铁和所述第二永磁铁用于将容纳腔中的等离子体约束在所述至少两个阳极棒和所述第一阴极板之间的区域。
全文数据：
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百度查询： 天津中科晶禾电子科技有限责任公司 一种磁约束的直流辉光放电等离子体装置和键合设备
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