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申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明提供一种具有高溶铜量的铜钼蚀刻液、其制备方法及用途，具有高溶铜量的铜钼蚀刻液包括蚀刻液主剂和蚀刻液补剂，蚀刻液补剂为蚀刻液主剂的0.5‑17wt％；蚀刻液主剂包括：过氧化氢、有机酸、有机碱、缓蚀剂、抗电位蚀刻剂、表面活性剂、过氧化氢稳定剂和超纯水；蚀刻液补剂包括：有机酸、有机碱、缓蚀剂、抗电位蚀刻剂、表面活性剂、过氧化氢稳定剂和超纯水。本发明还公开了具有高溶铜量的铜钼蚀刻液的制备方法及其在铜钼金属蚀刻领域的用途。本发明具有高溶铜量的蚀刻液寿命长且不易突沸，该蚀刻液能在10000‑15000ppm的高溶铜量下能够保持良好的蚀刻效果，对铜钼金属蚀刻时无底切、无拖尾、有着特定锥角。
主权项：1.一种具有高溶铜量的铜钼蚀刻液，其特征在于，包括蚀刻液主剂和蚀刻液补剂，所述蚀刻液补剂为蚀刻液主剂的0.5-17wt％；以重量份计，所述蚀刻液主剂包括如下的各组分： 以重量份计，所述蚀刻液补剂包括如下的各组分：
全文数据：
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百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种具有高溶铜量的铜钼蚀刻液、其制备方法及用途
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