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申请/专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
摘要：本发明提供一种干涉型FP腔光机加速度传感器，包括依次键合在一起的顶盖层、功能层以及底盖层晶圆；所述顶盖层内表面以及底盖层上表面均开设有相同形状的凹槽，且顶盖层凹槽与底盖层凹槽接合，形成一个具有一定体积的空腔；所述功能层放置在所述空腔内，所述功能层包括悬臂梁以及与悬臂梁连接的质量块；所述顶盖层的内表面以及所述质量块的上表面均设置有分布布拉格式高反膜。本发明还提供了一种干涉型FP腔光机加速度传感器的制造方法，通过分别制作顶盖层、功能层以及底盖层，且完成顶盖层、功能层以及底盖层的制作后，将三片晶圆顺序键合，垂直集成在一起形成一个加速度传感器。本发明提供的加速度传感器，具有制造方便制程简易的优点。
主权项：1.一种干涉型FP腔光机加速度传感器，其特征在于，包括依次连接的顶盖层、功能层以及底盖层晶圆；所述顶盖层内表面以及底盖层上表面均开设有相同形状的凹槽，且顶盖层凹槽与底盖层凹槽接合，形成一个具有一定体积的空腔；所述功能层放置在所述空腔内，所述功能层包括悬臂梁以及与悬臂梁连接的质量块；所述顶盖层的内表面以及所述质量块的上表面设置有分布布拉格式高反膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新微技术研发中心有限公司 一种干涉型FP腔光机加速度传感器及其制造方法
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