龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：天津中科晶禾电子科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种磁约束直流等离子体辉光放电装置和键合设备。阴极板具有容纳腔，至少两个阳极棒位于容纳腔内，至少两个阳极棒沿第一方向排列；阴极板包括第一阴极板、第二阴极板和第三阴极板；第二阴极板与第三阴极板沿第二方向相对设置；第二阴极板和第三阴极板均与第一阴极板垂直；第一永磁铁阵列和第二永磁铁阵列位于容纳腔外，第一永磁铁阵列和第二永磁铁阵列沿第二方向位于阴极板两侧；第一永磁铁阵列和第二永磁铁阵列用于将容纳腔中的离子约束在两个阳极棒和第二阴极板之间以及两个阳极棒和第三阴极板之间的区域。本发明能够避免引入新的杂质元素，防止了容纳腔内产生的颗粒泄露出去造成晶圆键合面污染，降低了离子对阴极板的刻蚀。
主权项：1.一种磁约束直流等离子体辉光放电装置，其特征在于，包括：阴极板、至少两个阳极棒、第一永磁铁阵列和第二永磁铁阵列；所述阴极板具有容纳腔，所述至少两个阳极棒位于所述容纳腔内，所述至少两个阳极棒沿第一方向排列；所述至少两个阳极棒与所述阴极板用于在外加电压下产生偏置电场；所述阴极板包括第一阴极板、第二阴极板和第三阴极板；所述第一阴极板具有发射孔；所述第二阴极板与所述第三阴极板沿第二方向相对设置；所述第二阴极板和所述第三阴极板均与所述第一阴极板垂直；其中，所述阳极棒沿第三方向延伸，所述第一方向与所述第一阴极板垂直，所述第三方向、所述第二方向和所述第一方向均相互垂直；所述第一永磁铁阵列和第二永磁铁阵列位于所述容纳腔外，所述第一永磁铁阵列和所述第二永磁铁阵列沿所述第二方向位于所述阴极板两侧；所述第一永磁铁阵列和所述第二永磁铁阵列用于将容纳腔中的离子约束在所述两个阳极棒和所述第二阴极板之间以及所述两个阳极棒和所述第三阴极板之间的区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津中科晶禾电子科技有限责任公司 一种磁约束直流等离子体辉光放电装置和键合设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号