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申请/专利权人：三菱综合材料技术株式会社;胜高股份有限公司
摘要：该移载装置用于将载体移载到行星齿轮装置式的研磨部上，其中该研磨部具有在平台的支承面上旋转的内齿轮和太阳齿轮且用于研磨基板的朝向厚度方向的面，该载体为平板状且形成有设置于外周边上且能够分别与内齿轮和太阳齿轮配合的多个齿部、以及收纳基板的贯通孔，该移载装置包括：移载部，用于将载体移载；摄像部，用于取得内齿轮的多个齿部中的至少一部分以及太阳齿轮的多个齿部中的至少一部分的图像；以及控制部，用于控制移载部。
主权项：1.一种移载装置，用于将载体移载到行星齿轮装置式的研磨部上，其中所述研磨部具有在平台的支承面上旋转的内齿轮和太阳齿轮且用于研磨基板的朝向厚度方向的面，所述载体为平板状且形成有设置于外周边上且能够分别与所述内齿轮和所述太阳齿轮配合的多个齿部、以及收纳所述基板的贯通孔，所述移载装置包括：移载部，用于将所述载体移载；摄像部，用于取得所述内齿轮的多个齿部中的至少一部分以及所述太阳齿轮的多个齿部中的至少一部分的图像；以及控制部，用于控制所述移载部，所述控制部基于所述图像，通过所述移载部来调整相对于所述内齿轮和所述太阳齿轮的、所述载体在沿所述支承面的沿面方向的位置以及所述载体的绕与所述支承面正交的轴线的方向，并且通过所述移载部，使所述载体的所述多个齿部分别与所述内齿轮的所述多个齿部以及所述太阳齿轮的所述多个齿部配合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱综合材料技术株式会社 胜高股份有限公司 移载装置、研磨设备及移载方法
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