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申请/专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种静电吸附掩模板及其制备方法，包括：具有像素定义层的第一基板，所述第一基板的第一表面设置有凹槽；静电吸附导电层，设置在所述第一基板的凹槽内，用于从外部静电发生器获得静电荷；静电屏蔽导电层，覆盖在所述第一基板的第二表面一侧，并接地；其中，所述第一基板的第一表面与所述第一基板的第二表面相背离。本发明提供的静电吸附掩模板在使用过程中，所述静电屏蔽导电层接地，因此电力线只能终止于静电屏蔽导电层和衬底之间，使其无法影响气相沉积材料的分子轨迹，以增加薄膜沉积质量，降低堵孔风险。
主权项：1.一种静电吸附掩模板，其特征在于，包括：具有像素定义层的第一基板，所述第一基板的第一表面设置有凹槽；静电吸附导电层，设置在所述第一基板的凹槽内，用于从外部静电发生器获得静电荷；静电屏蔽导电层，覆盖在所述第一基板的第二表面一侧，并接地；其中，所述第一基板的第一表面与所述第一基板的第二表面相背离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽熙泰智能科技有限公司 静电吸附掩模板及其制备方法
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