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申请/专利权人：中科见微智能装备(苏州)有限公司
摘要：本发明提供一种超音波除尘方法，涉及半导体制造技术领域，方法包括：获取待清洁产品部件；然后获取待清洁产品表面的待处理图像，识别所述待清洁产品部件表面的粉尘特征；再根据该所述粉尘特征，确定待清洁检测结果；接着基于所述待清洁检测结果，生成相应的超音波频率、超音波强度和清洁持续时间；继而运用生成的所述超音波频率、所述超音波强度和所述清洁持续时间，通过超音波震荡的方式对所述待清洁产品部件表面的粉尘进行分解；根据前述粉尘的颗粒特征，确定吸气装置的吸力，以及所述吸气装置的位置。由此，实现粉尘的可控分解与清除。
主权项：1.一种超音波除尘方法，其特征在于，包括以下步骤：获取待清洁产品部件；获取待清洁产品表面的待处理图像，识别所述待清洁产品部件表面的粉尘特征；根据所述待清洁产品部件表面的粉尘特征，确定待清洁检测结果；基于所述待清洁检测结果，生成相应的超音波频率、超音波强度和清洁持续时间；运用生成的所述超音波频率、所述超音波强度和所述清洁持续时间，通过超音波震荡的方式对所述待清洁产品部件表面的粉尘进行分解；根据分解后的所述粉尘颗粒的特征，确定吸气装置的吸力，以及所述吸气装置的位置。
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权利要求：
百度查询： 中科见微智能装备(苏州)有限公司 一种超音波除尘方法
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