龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆片清洁用甩干装置及其使用方法，甩干装置包括底座、驱动机构、运移机构和甩干箱；所述甩干箱用于安放晶圆片，所述甩干箱置于运移机构上，所述底座开设有甩干槽，所述运移机构设于甩干槽内且能够沿甩干槽移动；所述驱动机构包括驱动气缸、与驱动气缸相连的驱动架以及安装于驱动架内的若干驱动电机，所述驱动气缸用于驱动所述驱动架向靠近和远离甩干箱的方向移动，所述驱动电机连接有限位柱，所述限位柱能够与甩干箱对接相连，各驱动电机的转速不同以带动甩干箱以不同的转速旋转甩干。本发明能够实现多需求、多数量晶圆片的一次性甩干，甩干效率高，适用范围广。
主权项：1.一种晶圆片清洁用甩干装置，其特征在于，包括底座、驱动机构、运移机构和甩干箱；所述甩干箱用于安放晶圆片，所述甩干箱置于运移机构上，所述底座开设有甩干槽，所述运移机构设于甩干槽内且能够沿甩干槽移动；所述驱动机构包括驱动气缸、与驱动气缸相连的驱动架以及安装于驱动架内的若干驱动电机，所述驱动气缸用于驱动所述驱动架向靠近和远离甩干箱的方向移动，所述驱动电机连接有限位柱，所述限位柱能够与甩干箱对接相连，各驱动电机的转速不同以带动甩干箱以不同的转速旋转甩干晶圆片；所述晶圆片清洁用甩干装置的使用方法，包括以下步骤：将晶圆片依次安放于甩干箱中，待晶圆片清洗后，将甩干箱放置于运移机构上；运移机构沿甩干槽移动，使甩干箱对应至合适转速的驱动电机处；驱动气缸驱动所述驱动架向朝向甩干箱的方向移动，使限位柱与甩干箱对接相连；运移机构继续移动直至与甩干箱分离，启动驱动电机带动甩干箱以合适转速旋转甩干。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州智程半导体科技股份有限公司 一种晶圆片清洁用甩干装置及其使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号