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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种伺服逻辑阀，以及一种薄膜沉积装置。驱动机构，固定于第一腔室通往相邻的第二腔室的进口或出口，其上设有旋转轴；闸门，设有纵向的通孔，以固定安装所述旋转轴，其中，所述闸门在所述旋转轴的驱动下维持第一状态，以封闭所述第一腔室通往所述第二腔室的进口或出口，或在所述旋转轴的驱动下维持第二状态，以敞开所述第一腔室通往所述第二腔室的进口或出口；以及上盖，安装于所述闸门的所述通孔的顶端，并与所述闸门的顶面相平，以避免微粒在所述通孔中的所述旋转轴的顶部堆积。
主权项：1.一种伺服逻辑阀，其特征在于，包括：驱动机构，固定于第一腔室通往相邻的第二腔室的进口或出口，其上设有旋转轴；闸门，设有纵向的通孔，以固定安装所述旋转轴，其中，所述闸门在所述旋转轴的驱动下维持第一状态，以封闭所述第一腔室通往所述第二腔室的进口或出口，或在所述旋转轴的驱动下维持第二状态，以敞开所述第一腔室通往所述第二腔室的进口或出口；以及上盖，安装于所述闸门的所述通孔的顶端，并与所述闸门的顶面相平，以避免微粒在所述通孔中的所述旋转轴的顶部堆积。
全文数据：
权利要求：
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