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申请/专利权人：无锡市国瑞热控科技有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆预处理加热均温盘，具体涉及均温盘技术领域，包括用于晶圆加热预处理的均温盘主体，所述均温盘主体外部设有用于防止外界碰撞冲击导致损坏的防护组件；所述防护组件包括两个防护板，两个防护板均设在均温盘主体顶部，两个防护板相靠近的一侧均开设有安装槽，两个安装槽内部分别安装有磁块和铁块，所述磁块设在铁块一侧。本实用新型通过磁块与铁块的磁吸配合，可以使两个防护板牢牢吸附在一起，以此可以借助两个防护板的拼合对上板上的传热面进行遮挡防护，以此可以避免外界的碰撞冲击对传热面造成损坏，保证传热面的完好性，避免传热面受损而影响传热效果和传热稳定性。
主权项：1.晶圆预处理加热均温盘，包括用于晶圆加热预处理的均温盘主体1，其特征在于：所述均温盘主体1外部设有用于防止外界碰撞冲击导致损坏的防护组件；所述防护组件包括两个防护板2，两个防护板2均设在均温盘主体1顶部，两个防护板2相靠近的一侧均开设有安装槽3，两个安装槽3内部分别安装有磁块4和铁块5，所述磁块4设在铁块5一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡市国瑞热控科技有限公司 晶圆预处理加热均温盘
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