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申请/专利权人：大连理工大学宁波研究院;大连理工大学
摘要：本发明提供一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置，属于增材精密制造技术领域。该控制方法通过以下步骤实现：规划和匹配目标膜厚所需的目标喷印流量和目标喷印线宽，将喷射模式调节成稳定锥射流模式，喷印头扫掠过一定面积沉积成膜，监测喷印流量值反馈调节确定目标气动压力值，监测喷印线宽值反馈调节确定喷嘴与基板之间的目标电压值。还提供一种膜厚控制装置，视觉识别相机识别喷印线宽值反馈调控电场控制模块，重量传感器或液位传感器识别喷印流量值反馈调控气动控制模块。本发明可以获取喷印流量值与气动气压值、以及电场力与喷印线宽值的关系，实现了对成膜厚度工艺参数的快捷在线调节控制。
主权项：1.一种电流体喷印沉积成膜厚度控制装置，其特征在于，所述电流体喷印沉积成膜厚度控制装置包括电流体喷印阀体、运动平台，电场控制模块，气动控制模块，用于监测喷印线宽的视觉识别相机，用于检测喷印流量的重量传感器或液位传感器；通过视觉识别相机识别喷印线宽值反馈调控电场控制模块，通过重量传感器或液位传感器识别喷印流量值反馈调控气动控制模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连理工大学宁波研究院 大连理工大学 一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置
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