龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京知形科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆盒技术领域，具体涉及一种晶圆盒传送装置及晶圆盒锁定机构。旨在解决现有晶圆盒传送装置固定方式存在风险，兼容性较差以及容易误操作的问题。本发明的晶圆盒锁定机构包括定位组件、旋转电磁铁、锁定构件、限位组件和旋转角度检测元件，定位组件能够对晶圆盒进行定位；旋转电磁铁的转轴与锁定构件连接，旋转电磁铁的转轴上设置有摆动部；限位组件包括第一限位结构和第二限位结构，旋转角度检测元件能够检测并反馈旋转电磁铁的转动角度。本发明的晶圆盒锁定机构提高了机构的通用性，能够精确地将摆动部限定到特定的极限位置，能够实时检测并反馈旋转电磁铁的转动角度，从而准确判断锁定构件是否已到达锁定或解锁位置。
主权项：1.一种晶圆盒锁定机构，其特征在于，所述晶圆盒锁定机构包括定位组件、旋转电磁铁、锁定构件、限位组件和旋转角度检测元件；所述定位组件能够对所述晶圆盒进行定位；所述旋转电磁铁的转轴与所述锁定构件连接，所述旋转电磁铁的转轴上设置有摆动部；所述限位组件包括第一限位结构和第二限位结构，所述第一限位结构能够对所述摆动部进行限位以将所述摆动部限定到第一极限位置，所述第二限位结构能够对所述摆动部进行限位以将所述摆动部限定到第二极限位置，其中，所述第一极限位置对应于能够将所述锁定构件与所述晶圆盒上的卡槽彼此解锁的位置，所述第二极限位置对应于能够将所述锁定构件与所述晶圆盒上的卡槽彼此锁定的位置；所述旋转角度检测元件能够检测并反馈所述旋转电磁铁的转动角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京知形科技有限公司 一种晶圆盒传送装置及晶圆盒锁定机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号