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申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明公开了一种多辅助波长的晶圆膜厚测量方法，该方法采用一个主测量波长光源和多个辅助测量波长光源，将各光源发出的光以预定的入射角轮流照射晶圆表面，使用光电二极管接收反射光，获取晶圆表层膜对各波长光源的相对反射光强，经过标定得到反射率；对各波长光源的反射率‑膜厚函数曲线分别每隔半个周期进行分段，将测得主测量波长和多个辅助测量波长的反射率值代入其各自的每段反函数计算全部膜厚解；然后设定一个定位差值δ，比较多个辅助测量波长求得各膜厚解落入主测量波长求得的各膜厚解±δ2范围内的个数，将落入个数最多的主测量波长求得的膜厚解作为膜厚测量结果。该方法可实现晶圆膜厚的绝对测量，具有精确、体积小、可靠性高优点。
主权项：1.一种多辅助波长的晶圆膜厚测量方法，其特征在于：该方法采用一个主测量波长光源和多个辅助测量波长光源，将各光源发出的光以预定的入射角轮流照射晶圆表面，并使用光电二极管接收反射光，获取晶圆表层对各波长光源的相对反射光强，经过标定得到反射率；对各波长光源的反射率-膜厚函数曲线分别每隔半个周期进行分段，设在膜厚测量范围内其反射率-膜厚函数曲线包含i0个半周期，将函数曲线每隔半周期划分为一段，共i0段，将各段曲线记为A1，A2，……，Ai0；分别对每段函数曲线求取反函数，各反函数相应记为A1’，A2’，……，Ai0’；之后，执行反射率测量过程，将测得主测量波长和多个辅助测量波长的反射率值代入其各自的每段反函数计算全部膜厚解。设定一个定位差值δ，比较多个辅助测量波长求得各膜厚解落入主测量波长求得的各膜厚解±δ2范围内的个数，将落入个数最多的主测量波长求得的膜厚解作为膜厚测量结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 一种多辅助波长的晶圆膜厚测量方法
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